基于差分干涉的工作臺(tái)直線度動(dòng)態(tài)測(cè)量系統(tǒng)研究.pdf_第1頁
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1、在先進(jìn)制造領(lǐng)域，工作臺(tái)應(yīng)用十分廣泛，工作臺(tái)運(yùn)行直線度動(dòng)態(tài)測(cè)量對(duì)于了解其直線運(yùn)動(dòng)精度并進(jìn)行相應(yīng)誤差補(bǔ)償具有重要意義。本文就是圍繞工作臺(tái)運(yùn)行直線度動(dòng)態(tài)測(cè)量問題進(jìn)行了深入研究，并設(shè)計(jì)、開發(fā)了基于差分干涉原理的工作臺(tái)運(yùn)行直線度動(dòng)態(tài)測(cè)量系統(tǒng)，主要研究工作包括：
　?。?）提出了基于差分干涉的工作臺(tái)運(yùn)行直線度動(dòng)態(tài)測(cè)量原理，并完成了測(cè)量系統(tǒng)總體設(shè)計(jì)；
　?。?）設(shè)計(jì)了測(cè)量系統(tǒng)機(jī)械結(jié)構(gòu)和光路，包括光學(xué)器件的選型和新型傳感器的設(shè)計(jì)，分析了信號(hào)

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