應(yīng)用于EFEM模塊的硅片搬運機器人若干問題的研究.pdf

1、隨著科技的進(jìn)步，電子產(chǎn)品正在日新月異的發(fā)展，使得集成電路(IC)產(chǎn)業(yè)處在不斷的變革之中。因此，對IC產(chǎn)品中主要工作單元——硅片的加工與搬運要求也越來越高。80年代末，機器人技術(shù)引入到IC自動化裝備技術(shù)中，其主要承擔(dān)著硅片的精確定位與快速、平穩(wěn)地搬運任務(wù)，機器人的工作性能直接影響著硅片的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量。因此，對機器人的研制和關(guān)鍵技術(shù)的探討具有深遠(yuǎn)的意義。
　　EFEM模塊是半導(dǎo)體工業(yè)的整個生產(chǎn)流程中的中轉(zhuǎn)樞紐，是一種高潔凈等級的

2、微環(huán)境設(shè)備，用來建造超潔凈等級的硅片存儲環(huán)境并傳送硅片到指定加工工位。本文主要圍繞EFEM模塊中所應(yīng)用的機器人進(jìn)行的研究。
　　首先，本文首先研究了硅片搬運機器人的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，概述了現(xiàn)有硅片搬運機器人的類型。在此基礎(chǔ)上，詳細(xì)研究了硅片搬運機器人的構(gòu)型設(shè)計及選型。根據(jù)在EFEM模塊中機器人的作業(yè)要求及制造成本，對平面關(guān)節(jié)型機器人和徑向直線伸縮型機器人的性能進(jìn)行了對比，最后選取成本較低、可行性較高的間接驅(qū)動平面關(guān)節(jié)型機器人作為EF

3、EM模型中的硅片搬運機器人。
　　其次，本文詳細(xì)介紹了機器人軌跡規(guī)劃的運動學(xué)基礎(chǔ)，分析了冗余自由度型機器人的性能特點，給出了判定機器人的性能指標(biāo)，提出了機器人軌跡規(guī)劃的一般性問題以及軌跡的生成方法。另外，本文以在2工位EFEM模塊中的平面三自由度機器人為研究對象，對其第一運動軌跡進(jìn)行了研究并做出了軌跡仿真。基于擴展雅可比法，提出了一種以靈活性能為指標(biāo)的軌跡規(guī)劃方法。通過對比知，在笛卡爾空間中描述的以腕點（第2個關(guān)節(jié)末端）軌跡為基礎(chǔ)