IC制造裝備行為邏輯導引與約束控制研究.pdf

1、IC產(chǎn)業(yè)是我國新興戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),在國民經(jīng)濟和國防事業(yè)中都有重要戰(zhàn)略意義。裝備作為IC制造的核心載體,是IC產(chǎn)業(yè)的基礎和支撐。因制造方式的轉(zhuǎn)變、效率和環(huán)境需求的提高,IC制造裝備通常采用集束型結(jié)構,其制造過程復雜,行為邏輯約束嚴密,如何對裝備行為邏輯進行正確、魯棒的導引與約束控制是實現(xiàn)裝備高可靠運行的關鍵內(nèi)容。
　　本文通過分析IC制造裝備行為動態(tài)執(zhí)行過程,提出IC制造裝備行為邏輯控制系統(tǒng)原型。該系統(tǒng)原型包括行為激勵、裝備狀態(tài)、物理活

2、動和活動事件四類對象元素,以及行為邏輯導引與約束控制和狀態(tài)演化控制兩類邏輯控制模型。
　　然后以集合形式建立行為邏輯控制系統(tǒng)中四類對象元素的數(shù)學模型,并基于系統(tǒng)對象元素的數(shù)學模型,建立系統(tǒng)實現(xiàn)邏輯控制的邏輯規(guī)則的數(shù)學模型。基于以上建立的對象元素數(shù)學模型和邏輯規(guī)則數(shù)學模型,提出IC制造裝備行為邏輯控制系統(tǒng)的數(shù)學模型。該系統(tǒng)是一個離散動態(tài)系統(tǒng),實現(xiàn)IC制造裝備行為邏輯導引與約束控制和狀態(tài)演化控制。
　　基于以上建立的行為邏輯控制

3、系統(tǒng),分析定義系統(tǒng)實現(xiàn)正確邏輯控制的必備性質(zhì):規(guī)則完備性和系統(tǒng)活性。針對復雜系統(tǒng)中規(guī)則繁多,性質(zhì)驗證困難的問題,提出基于系統(tǒng)矩陣模型證明系統(tǒng)規(guī)則完備性和系統(tǒng)活性的方法。
　　最后基于以上提出的行為邏輯控制系統(tǒng)的數(shù)學模型,開發(fā)出IC制造裝備行為邏輯控制軟件原型系統(tǒng)。該軟件原型系統(tǒng)包括系統(tǒng)建模、性質(zhì)驗證、仿真測試等功能?；谠撥浖拖到y(tǒng)對某硅外延裝備傳輸行為的邏輯控制進行建模,并通過仿真測試驗證了提出的行為邏輯控制系統(tǒng)模型的有效性。