雙工件臺(tái)光刻機(jī)虛擬現(xiàn)實(shí)三維仿真平臺(tái)設(shè)計(jì).pdf

1、光刻技術(shù)與半導(dǎo)體集成電路地位的日益突出,而仿真對(duì)光刻機(jī)新型樣機(jī)的研發(fā)與集成電路的生產(chǎn)意義重大,高質(zhì)量的仿真技術(shù)可以縮短開發(fā)周期、降低研究成本、提高光刻機(jī)性能進(jìn)而增強(qiáng)集成電路的生產(chǎn)質(zhì)量。為了克服傳統(tǒng)半物理仿真平臺(tái)可視化的局限性,本文以國家科技專項(xiàng)《光刻機(jī)樣機(jī)研發(fā)》為背景,開發(fā)了高真實(shí)感雙工件臺(tái)光刻機(jī)虛擬現(xiàn)實(shí)三維仿真平臺(tái)。
　　首先,針對(duì)雙工件臺(tái)光刻機(jī)虛擬現(xiàn)實(shí)仿真平臺(tái)所需實(shí)體建模問題,重點(diǎn)分析了基于圖像空間、基于離散矢量與直接實(shí)體造型

2、算法,使用結(jié)合B-rep與CSG的HybridModeling直接實(shí)體混合造型算法對(duì)光刻機(jī)掩模臺(tái)系統(tǒng)、雙工件臺(tái)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)參考部件三維實(shí)體進(jìn)行創(chuàng)建,在此基礎(chǔ)上,通過實(shí)驗(yàn)研究了系統(tǒng)零件的簡(jiǎn)化建模方法,對(duì)比分析了其模型建立效果,采用布爾運(yùn)算法,實(shí)現(xiàn)了零件實(shí)體建模。討論了系統(tǒng)零部件的裝配方案,在Pro/ENGINEERING Wildlife中完成了掩模臺(tái)、雙工件臺(tái)系統(tǒng)的零件與運(yùn)動(dòng)參考部件相對(duì)空間位置的裝配。
　　其次,詳細(xì)分析了虛擬現(xiàn)實(shí)

3、場(chǎng)景仿真過程中光刻機(jī)掩模臺(tái)、雙工件臺(tái)系統(tǒng)宏動(dòng)、微動(dòng)運(yùn)動(dòng)狀態(tài)與其各個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)之間的耦合關(guān)系,基于現(xiàn)實(shí)的運(yùn)動(dòng)關(guān)系并結(jié)合三維模型結(jié)構(gòu)對(duì)空間中運(yùn)動(dòng)的掩模臺(tái)、工件臺(tái)微動(dòng)臺(tái)各個(gè)自由度與各個(gè)執(zhí)行電機(jī)之間運(yùn)動(dòng)關(guān)系進(jìn)行了探討。研究了光刻機(jī)虛擬現(xiàn)實(shí)三維仿真平臺(tái)場(chǎng)景的設(shè)計(jì)方案,在OpenInventor系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)了三維場(chǎng)景的創(chuàng)建,零件與定位部件實(shí)體邏輯位置的裝配,并利用光刻機(jī)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)關(guān)系的分析結(jié)果,完成了運(yùn)動(dòng)控制與交互接口以及仿真平臺(tái)本地?cái)?shù)據(jù)文件讀取與存儲(chǔ)功