光刻機(jī)雙工件臺系統(tǒng)的FMECA分析.pdf

1、光刻機(jī)是半導(dǎo)體元器件制造的常用裝備，工件臺系統(tǒng)、對準(zhǔn)系統(tǒng)和曝光系統(tǒng)是光刻機(jī)系統(tǒng)的三大核心組成。由于國外對我國的光刻機(jī)在技術(shù)方面實行封鎖，而且早期國內(nèi)對光刻機(jī)這一高投入、高風(fēng)險裝備的重要性認(rèn)識不足，導(dǎo)致我國的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)發(fā)展落后?，F(xiàn)階段，提高光刻機(jī)技術(shù)對發(fā)展我國的半導(dǎo)體行業(yè)至關(guān)重要。在光刻機(jī)的研制過程中，可靠性技術(shù)發(fā)揮著重要的作用。
　　工件臺系統(tǒng)是光刻機(jī)的關(guān)鍵組成系統(tǒng)，主要功能是實現(xiàn)被加工工件的運(yùn)動，工件臺的性能影響著硅片的加工質(zhì)量

2、。本文以某型光刻機(jī)雙工件臺系統(tǒng)為研究對象，包括硅片臺和掩模臺兩個子系統(tǒng)。兩個子系統(tǒng)都采用粗動臺和微動臺相結(jié)合的結(jié)構(gòu)，粗動臺實現(xiàn)大行程運(yùn)動，微動臺實現(xiàn)六自由度的微動。雙工件臺系統(tǒng)是一個結(jié)構(gòu)復(fù)雜、運(yùn)動精度要求超高的運(yùn)動系統(tǒng)，對可靠性要求也較高，可靠性分析工作非常復(fù)雜。在雙工件臺系統(tǒng)的設(shè)計階段對系統(tǒng)進(jìn)行可靠性分析時，主要面臨著以下幾個方面的問題：
　?。?）缺少工件臺系統(tǒng)的失效數(shù)據(jù)。
　?。?）系統(tǒng)可靠性程度較高，運(yùn)行過程中發(fā)生失

3、效的次數(shù)少。
　?。?）系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對其進(jìn)行可靠性試驗比較困難。
　?。?）目前對雙工件臺系統(tǒng)進(jìn)行的可靠性分析工作很少。
　　針對上述問題，本文的主要內(nèi)容如下：
　?。?）對光刻機(jī)雙工件臺系統(tǒng)中硅片臺和掩模臺子系統(tǒng)進(jìn)行故障樹建模，通過定性分析和定量分析找出兩個子系統(tǒng)的薄弱環(huán)節(jié)。
　?。?）引入GO法對控制子系統(tǒng)進(jìn)行建模和分析，評估控制子系統(tǒng)的可靠性。
　?。?）針對雙工件臺系統(tǒng)可靠性數(shù)據(jù)較少的情況，