光刻機(jī)工件臺(tái)與掩模臺(tái)同步控制算法研究及實(shí)現(xiàn).pdf

1、步進(jìn)掃描光刻機(jī)的研發(fā)工作是國(guó)內(nèi)的重大科技專項(xiàng)之一,本文以光刻機(jī)工件臺(tái)和掩模臺(tái)控制系統(tǒng)研究為背景,為滿足曝光掃描時(shí)各個(gè)子系統(tǒng)的任務(wù)調(diào)度、大量數(shù)據(jù)傳輸和工件臺(tái)與掩模臺(tái)的同步偏差控制任務(wù)而進(jìn)行了下述工作。
　　本文首先對(duì)光刻機(jī)發(fā)展進(jìn)行了綜述,指出了光刻機(jī)技術(shù)發(fā)展中的主要節(jié)點(diǎn);重點(diǎn)介紹了光刻機(jī)同步控制技術(shù)方面的進(jìn)展。
　　其次,本文分析了步進(jìn)式掃描曝光的工作流程,根據(jù)任務(wù)的同步調(diào)度需要把曝光涉及到的子系統(tǒng)分為同步主系統(tǒng)和同步從系統(tǒng),

2、根據(jù)工作特點(diǎn)的不同把曝光過(guò)程分為五個(gè)狀態(tài),同步主系統(tǒng)可以通過(guò)內(nèi)部狀態(tài)的轉(zhuǎn)換對(duì)同步從系統(tǒng)進(jìn)行任務(wù)調(diào)度即控制觸發(fā)同步從系統(tǒng)的各種行為。
　　根據(jù)硬件連接關(guān)系和傳輸數(shù)據(jù)類型的不同,設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)和狀態(tài)標(biāo)志傳輸機(jī)制,利用VME總線的用戶自定義接口定義了一種同步控制總線,以完成同步主系統(tǒng)和同步從系統(tǒng)間的信息交換需求,采用FIFO隊(duì)列配合命令狀態(tài)定時(shí)器的方式在同步控制總線上廣播同步狀態(tài)和發(fā)送數(shù)據(jù)信息。
　　參考同步控制主系統(tǒng)的功能需求,設(shè)計(jì)并

3、制作了同步控制器硬件即同步控制卡,進(jìn)行了程序的編寫、仿真及板卡調(diào)試等工作,完成了同步控制卡與下位機(jī)間的數(shù)據(jù)傳輸、中斷響應(yīng)測(cè)試,實(shí)現(xiàn)了同步主系統(tǒng)和從系統(tǒng)間的時(shí)序發(fā)送測(cè)試,測(cè)試結(jié)果達(dá)到設(shè)計(jì)指標(biāo)。
　　最后,分析了工件臺(tái)和掩模臺(tái)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)特性后,本文采用主從同步控制策略,基于重復(fù)控制思想,設(shè)計(jì)了同步控制算法,使工件臺(tái)和掩模臺(tái)的同步偏差收斂到和工件臺(tái)和掩模臺(tái)相同的運(yùn)動(dòng)精度等級(jí)即納米級(jí),控制效果通過(guò)重復(fù)控制器的學(xué)習(xí)作用逐漸改善,得到了比常規(guī)