光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)上位機(jī)軟件設(shè)計(jì).pdf

1、集成電路、半導(dǎo)體元器件等超精密器件已經(jīng)被廣泛應(yīng)用在各行各業(yè)中,而光刻機(jī)作為研制和生產(chǎn)超精密器件的主流設(shè)備也變得尤為重要。雙工件臺(tái)系統(tǒng)是光刻機(jī)的關(guān)鍵子系統(tǒng)。光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)的控制系統(tǒng)主要由上位機(jī)和下位機(jī)兩部分組成。下位機(jī)指采用VME總線的工控機(jī)系統(tǒng),包含運(yùn)行著VxWorks系統(tǒng)的PowerPC處理器和多塊控制板卡,控制著雙工件臺(tái)系統(tǒng)的運(yùn)行。上位機(jī)系統(tǒng)是在PC機(jī)上開(kāi)發(fā)的應(yīng)用軟件系統(tǒng),主要負(fù)責(zé)管理、監(jiān)控、仿真雙工件臺(tái)系統(tǒng)的運(yùn)行和對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行后

2、期處理,并向用戶提供友好的人機(jī)交互界面。
　　本文詳細(xì)介紹了上位機(jī)系統(tǒng)的研究和開(kāi)發(fā)工作。首先,簡(jiǎn)要介紹了雙工件臺(tái)系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)方案和工作流程,在此基礎(chǔ)上完成了上位機(jī)系統(tǒng)的整體規(guī)劃和模塊化設(shè)計(jì)。然后,運(yùn)用C++編程語(yǔ)言在C++Builder開(kāi)發(fā)環(huán)境下對(duì)上位機(jī)系統(tǒng)的各個(gè)模塊進(jìn)行了具體的開(kāi)發(fā)和實(shí)現(xiàn),并進(jìn)行了相關(guān)底層類的設(shè)計(jì)和封裝,主要包括網(wǎng)絡(luò)通信模塊、數(shù)據(jù)庫(kù)模塊、串口通信模塊、仿真模塊和軟件加密模塊。
　　上位機(jī)系統(tǒng)各模塊的開(kāi)發(fā)工

3、作完成后,利用這些模塊所提供的對(duì)外接口完成了上位機(jī)系統(tǒng)的整體實(shí)現(xiàn)。上位機(jī)系統(tǒng)的整體實(shí)現(xiàn)是指系統(tǒng)各部分功能的實(shí)現(xiàn),包括安全登錄功能、參數(shù)設(shè)置功能、實(shí)時(shí)監(jiān)控功能、數(shù)據(jù)處理功能和仿真功能的實(shí)現(xiàn)。
　　測(cè)試對(duì)于軟件系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)是必不可少的。上位機(jī)系統(tǒng)的測(cè)試工作包括系統(tǒng)的內(nèi)部測(cè)試和聯(lián)機(jī)測(cè)試兩部分,系統(tǒng)的內(nèi)部測(cè)試包含了系統(tǒng)加密功能和系統(tǒng)登錄功能的測(cè)試,系統(tǒng)的聯(lián)機(jī)測(cè)試包含了網(wǎng)絡(luò)通信、串口通信、三維仿真相關(guān)部分的測(cè)試。通過(guò)對(duì)上位機(jī)系統(tǒng)的反復(fù)測(cè)試從而