雙工件臺上位機系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、光刻機作為光刻工藝中最重要的設(shè)備,其精度直接影響到集成電路的集成度,而雙工件臺作為光刻機最重要的部件之一,其精度直接影響到光刻機的各項指標。工件臺的上位機系統(tǒng)主要用于工件臺的流程控制、實時監(jiān)控和仿真測試,因此是不可或缺的部分。
　　上位機的系統(tǒng)以Borland C++builder6.0作為開發(fā)環(huán)境,主要工作是與安裝在工控機上的VxWorks進行通訊。本文首先從工件臺的任務(wù)入手,在明確工件臺任務(wù)的基礎(chǔ)上對上位機系統(tǒng)進行了整體的規(guī)劃

2、,并按照模塊化思想將上位機系統(tǒng)劃分為用戶管理模塊、數(shù)據(jù)庫模塊、實時監(jiān)控模塊、仿真測試模塊、網(wǎng)絡(luò)通訊模塊和數(shù)據(jù)文件模塊并對各個模塊的功能進行了細致的介紹。
　　然后在Borland C++builder 6.0開發(fā)環(huán)境下根據(jù)各模塊的要求封裝了數(shù)據(jù)庫類、網(wǎng)絡(luò)通訊類、FDB文件類和動態(tài)曲線繪制類,并對每個底層類的設(shè)計和功能以及封裝的函數(shù)進行了細致的介紹。
　　最后在各底層類的基礎(chǔ)上根據(jù)對上位機的要求實現(xiàn)上位機的各個功能。完成用戶登

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