光刻投影物鏡動(dòng)鏡柔順定位機(jī)構(gòu)模型修正及分析.pdf

1、光刻投影物鏡是光刻機(jī)的核心部件。為了保證投影光嚴(yán)苛的波像差要求，投影物鏡內(nèi)部具有可調(diào)整的動(dòng)鏡，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)其位置姿態(tài)進(jìn)行調(diào)整，以消除由于加工和裝調(diào)誤差帶來的波像差，從而保證曝光圖形的轉(zhuǎn)移精度。柔順定位機(jī)構(gòu)是基于柔性鉸鏈彈性變形和壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)的多自由度柔順微動(dòng)精密定位機(jī)構(gòu)，是光刻機(jī)動(dòng)鏡的調(diào)整機(jī)構(gòu)的主要部件。由于柔順定位機(jī)構(gòu)中的柔性鉸鏈剛度低，對(duì)環(huán)境振動(dòng)響應(yīng)劇烈，為了保證物鏡穩(wěn)定動(dòng)態(tài)成像質(zhì)量，需要掌握其結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué)特性。因此，本文進(jìn)行了以下四方

2、面的分析研究：
　　(1)分析了柔順定位機(jī)構(gòu)工作原理和結(jié)構(gòu)特性，對(duì)其進(jìn)行有限元仿真建模和模態(tài)試驗(yàn)，對(duì)比分析建模誤差，基于諧波響應(yīng)分析法確定修正的目標(biāo)函數(shù)，修正變量和約束條件，使修正后的模型誤差在5％以內(nèi)，達(dá)到分析精度要求。
　　(2)依據(jù)固定結(jié)合面剛度阻尼理論，推導(dǎo)了柔順定位機(jī)構(gòu)螺栓連接面的剛度。將其作為初值進(jìn)行參數(shù)修正得到了收斂解，該收斂解在理論解的10%內(nèi)變動(dòng)，表明剛度理論推導(dǎo)正確，修正方法有效。
　　(3)依據(jù)修