光刻機投影物鏡光學(xué)鏡片的光機熱集成分析及軟件實現(xiàn).pdf

1、光刻機投影物鏡光學(xué)鏡片作為曝光系統(tǒng)的核心部件，其精度要求極高，常用的分析方法是將光學(xué)鏡片的光機熱分析采用專業(yè)軟件進行分析。但不同軟件之間模型或數(shù)據(jù)的交互可能會引起部分?jǐn)?shù)據(jù)丟失，從而引起分析結(jié)果偏差。因而需要一種對鏡片光機熱進行集成分析的方法來完成各種分析類型之間的數(shù)據(jù)交互，從而實現(xiàn)鏡片的整個分析過程，縮短設(shè)計周期。
　　本文通過對光學(xué)鏡片分析過程中的機械結(jié)構(gòu)分析、熱分析、光學(xué)分析過程進行簡單介紹并細(xì)致地闡述了它們之間的耦合關(guān)系，列

2、出了光機熱集成分析結(jié)果評價方法。從而提出一種實現(xiàn)鏡片光機熱集成分析的方法：基于ModelCenter的流程集成分析，另外通過C++Builder開發(fā)環(huán)境設(shè)計輔助軟件來完善流程分析的功能。
　　根據(jù)提出的方案，實現(xiàn)了鏡片光機熱分析模型的參數(shù)化，建立了基于 ModelCenter的鏡片光機熱參數(shù)化集成分析流程，實現(xiàn)了分析過程中不同分析類型之間數(shù)據(jù)的交互及過程的自動化，得到了鏡片光學(xué)分析特性圖。同時開發(fā)的輔助軟件完善了流程集成分析的功能