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1、本文主要采用原子層沉積（ALD）/分子層沉積（MLD）技術(shù)制備無機(jī)（Al2O3）/有機(jī)（alucone）交疊結(jié)構(gòu)的封裝薄膜，對頂發(fā)射有機(jī)電致發(fā)光器件（TEOLED）進(jìn)行封裝。由于封裝TEOLED器件的特殊性，要求封裝薄膜在保證封裝性能的同時，具有較高的光學(xué)透過率，能夠提高器件的光取出量。研究了ALD生長條件對無機(jī)薄膜的影響，通過改變生長溫度及反應(yīng)前驅(qū)體，提高無機(jī)薄膜性能。實驗所制備 Al2O3/alucone復(fù)合結(jié)構(gòu)的封裝薄膜，通過精確
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