MgZnO MSM結(jié)構(gòu)紫外光探測器特性研究.pdf

1、近年來,MgZnO基日盲紫外光探測器由于在紫外通訊、導彈預警以及火焰探測等方面具有巨大的應用潛力而受到人們的廣泛關(guān)注,是當前光通信和光電子領(lǐng)域研究的熱點課題之一。論文在經(jīng)典半導體理論的基礎(chǔ)上,結(jié)合器件實驗,建立了適于模擬MgZnO金屬-半導體-金屬(Metal-semiconductor-Metal,MSM)紫外光探測器的數(shù)值模型,進而研究了不同電極結(jié)構(gòu)對于器件特性的影響。具體內(nèi)容如下:
　　首先,考慮到 MgZnO的基本材料特性

2、,通過求解泊松方程、電流連續(xù)性方程以及電流密度方程建立了適于常規(guī)矩形電極結(jié)構(gòu)MgZnO MSM光電探測器的二維數(shù)值模型,獲得了器件的電場分布、暗電流以及光電流特性。通過與器件實驗結(jié)果相對比驗證了模型的正確性。
　　其次,基于幾何光學理論,建立了適于三棱柱形和半圓柱形電極結(jié)構(gòu)的光產(chǎn)生與吸收模型,對MgZnO MSM探測器的穩(wěn)態(tài)和瞬態(tài)特性進行了數(shù)值仿真。研究表明,三棱柱形和半圓柱形電極能使部分被電極反射的入射光重新照射到MgZnO吸收