SiC表面納米金屬顆粒增強(qiáng)MSM型紫外探測器研究.pdf

1、當(dāng)人們探索紫外光源在紫外光刻機(jī)、紫外消毒、紫外養(yǎng)生等方面的應(yīng)用時(shí)，對(duì)紫外光的探測必不可缺。目前市場上銷售的紫外探測器性能優(yōu)缺點(diǎn)各異，缺乏良好的性能提升。碳化硅（SiC）作為第三代半導(dǎo)體，除了具有大的禁帶寬度，良好的耐高溫、耐高壓、耐腐蝕特性外，對(duì)于紫外光的敏感性，以及相對(duì)成熟的高阻SiC外延制備技術(shù)，使得SiC成為制造紫外探測器不可多得的材料。目前的SiC紫外探測器中，以金屬-半導(dǎo)體-金屬型（MSM）居多，然而SiC MSM型探測器低的

2、探測性能成為制約其進(jìn)一步發(fā)展的羈絆。
　　本論文中，首先利用半導(dǎo)體器件制備工藝建立了SiC MSM型紫外探測器的制備流程，細(xì)化了工藝細(xì)節(jié)，研制出SiC MSM型紫外探測器；然后在SiC MSM型紫外探測器表面制備了納米銀（Ag）和納米鋁（Al）金屬顆粒，研制出納米金屬顆粒增強(qiáng)的SiC MSM型探測器；最后測試并研究了納米金屬顆粒的增強(qiáng)效果。
　　研究結(jié)果表明，與SiC MSM型紫外探測器相比，納米Ag顆粒增強(qiáng)的SiC MSM

3、型紫外探測器，在偏壓5 V時(shí)，使用汞燈和氘燈照射，靈敏度分別提高了14.4倍和6.5倍，在380 nm波長下，響應(yīng)度提高了3.87倍。對(duì)于納米Al顆粒增強(qiáng)的SiC MSM型紫外探測器，在偏壓5 V時(shí)，使用汞燈和氘燈照射，靈敏度分別提高了28.6倍和36.8倍。220 nm波長下的響應(yīng)度為0.165 A/W，是SiC MSM型探測器的3.93倍。由于納米金屬顆粒的附著，減少了探測器表面的漏電通道，降低了探測器的暗電流。利用局域表面等離子體