新型氧化鈰拋光液的研制及其拋光性能研究.pdf

1、微晶玻璃憑借其優(yōu)越的綜合性能成為硬盤基板的理想材料，為了獲得具有超光滑表面的微晶玻璃，在實(shí)際生產(chǎn)中需要對其表面進(jìn)行研磨、預(yù)拋光、粗拋光、精拋光等過程，而氧化鈰（CeO2）作為研磨粒子具有拋光速率快、表面平整度高、選擇性好等優(yōu)點(diǎn)被廣泛地應(yīng)用于微晶玻璃的拋光加工中。本文針對CeO2粉體在水相介質(zhì)中不易分散及所制備的拋光液不宜低溫儲存和運(yùn)輸?shù)臓顩r，研究了微/納米CeO2粉體在乙醇-水介質(zhì)中的分散性能，對其分散工藝進(jìn)行了優(yōu)化，并采用優(yōu)化后的微/

2、納米CeO2拋光液對微晶玻璃進(jìn)行拋光實(shí)驗(yàn)。
　　本文的主要工作如下：
　　1.研究了乙醇-水相體系中微/納米CeO2的分散工藝
　　對于微米CeO2粉體，本文采用超聲分散的方式研究了不同乙醇-水體積比、超聲時間、分散劑的濃度和種類對其分散性能的影響，優(yōu)化后的分散工藝為：采用乙醇-水作為分散介質(zhì)，其中乙醇體積分?jǐn)?shù)為65％，超聲時間為15min，采用質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1.5%的PVP作為分散劑；對于納米CeO2粉體，本文采用球磨分

3、散的方式研究了不同乙醇-水體積比、球磨時間、球料比、球磨機(jī)轉(zhuǎn)速、分散劑的種類和濃度對其分散性能的影響，優(yōu)化后的分散工藝為：采用乙醇-水作為分散介質(zhì)，其中乙醇體積分?jǐn)?shù)為30%，球磨時間為12h，球磨機(jī)轉(zhuǎn)速為500r/min，球料比為10:1，采用質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1%的PVP作為分散劑。
　　2.開展了微/納米CeO2拋光液拋光微晶玻璃的工藝研究
　　本文采用田口法進(jìn)行實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，選用優(yōu)化后的微米級和納米級 CeO2拋光液對微晶玻璃進(jìn)行

4、了拋光實(shí)驗(yàn)。采用優(yōu)化后的微米級 CeO2拋光液對微晶玻璃進(jìn)行粗拋光，對各個拋光參數(shù)對材料去除率和表面粗糙度的影響進(jìn)行了綜合分析，優(yōu)化后的拋光工藝為：拋光壓力為0.075MPa，拋光機(jī)轉(zhuǎn)速為150r/min，拋光時間為15min，拋光液流量為15ml/min。采用優(yōu)化后的納米級 CeO2拋光液對其進(jìn)行精拋光，對拋光參數(shù)對材料去除率和表面粗糙度的影響進(jìn)行了綜合分析，得出納米級CeO2拋光微晶玻璃的最優(yōu)工藝參數(shù)為：拋光壓力為0.05MPa，拋