直線驅(qū)動(dòng)式精密靜壓氣浮平臺(tái)的穩(wěn)定性分析與實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、在科技高速發(fā)展的今天,高速高精密技術(shù)已成為裝備制造業(yè)的一個(gè)發(fā)展方向,靜壓氣浮平臺(tái)以高精度、無(wú)摩擦、溫升小、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)正好滿(mǎn)足高速高精密技術(shù)的要求,從而引起廣泛的關(guān)注和研究。但是靜壓氣浮平臺(tái)的承載力小、剛度低、穩(wěn)定性差等缺點(diǎn),限制了氣浮平臺(tái)應(yīng)用的進(jìn)一步推廣。
　　 氣浮平臺(tái)的承載性能和穩(wěn)定性之間是一種相互制約的關(guān)系,如果片面追求高的承載力和剛度,就會(huì)影響氣浮平臺(tái)的穩(wěn)定性,所以如何在滿(mǎn)足穩(wěn)定性的情況下,盡可能提高承載力、剛度是研究

2、靜壓氣浮平臺(tái)的主要研究方向。本文以矩形閉式靜壓氣浮平臺(tái)為研究對(duì)象,主要從以下幾方面內(nèi)容進(jìn)行了研究:
　　 1、對(duì)閉式氣浮平臺(tái)的氣膜進(jìn)行全參數(shù)的三維流體建模和分析,根據(jù)分析得到的氣膜壓力分布情況,把氣浮導(dǎo)軌簡(jiǎn)化成止推軸承。然后以止推軸承為分析對(duì)象,對(duì)開(kāi)設(shè)有均壓槽的氣膜進(jìn)行流體分析,研究均壓槽對(duì)氣膜壓力的均化效果,并分別分析了均壓槽的寬度和深度對(duì)氣浮平臺(tái)承載力和剛度的影響情況。
　　 2、以富勒(D.D.Fuller)氣浮軸

3、承穩(wěn)定判據(jù)為理論基礎(chǔ),對(duì)氣浮平臺(tái)的氣錘自激進(jìn)行數(shù)值推導(dǎo),得出氣浮平臺(tái)的氣錘自激判定方程,并且利用Matlab進(jìn)行數(shù)值仿真,分析氣浮平臺(tái)各結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)氣錘自激的影響規(guī)律。
　　 3、微振動(dòng)主要由平臺(tái)內(nèi)流體的紊流引起,而紊流是根據(jù)雷諾數(shù)的大小來(lái)判定的。本文以仿真平臺(tái)內(nèi)流體密度和速度的方法,分析了氣浮平臺(tái)的微振動(dòng)情況。文中利用雷諾數(shù)的計(jì)算公式推導(dǎo)出流場(chǎng)中各區(qū)域的紊流臨界速度,然后通過(guò)仿真分析得到流場(chǎng)的流速,兩者比較便可知道流場(chǎng)中發(fā)生紊流