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文檔簡介
1、精密絲杠是影響精密儀器與機(jī)械結(jié)構(gòu)精度的關(guān)鍵部件，對其加工精度有著很高的要求。因此在絲杠的加工過程中離不開與之配套的在線動(dòng)態(tài)測量系統(tǒng)。本文首先全面介紹了絲杠的動(dòng)態(tài)和靜態(tài)測量方法，以及國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，在分析研究幾種典型的絲杠測量儀原理性能與結(jié)構(gòu)特點(diǎn)的基礎(chǔ)上確定了測量系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)方案。
根據(jù)總體設(shè)計(jì)方案，首先選擇了雙頻激光干涉儀和圓光柵作為絲杠的水平位移和角位移的標(biāo)準(zhǔn)器，對雙頻激光干涉系統(tǒng)和圓光柵系統(tǒng)的原理與技術(shù)進(jìn)行了研究，并設(shè)計(jì)
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