基于PCI總線的光纖數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)研究.pdf

1、光刻機是IC制造中最為核心也是最為復(fù)雜的裝備,國家制定了長遠的科技計劃,對光刻機進行研究,為了配合光刻機精密運動控制系統(tǒng)的研制,本文就應(yīng)用于光刻機運動控制系統(tǒng)輔助測試的光纖數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)進行了研究和開發(fā)。系統(tǒng)通過高速光纖接口從運動控制卡中接收數(shù)據(jù),然后通過PCI總線將這些數(shù)據(jù)發(fā)送到PC中去,由PC對數(shù)據(jù)進行分析和處理。
　　光纖數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)由光纖接口、PCI總線接口和用于控制和時序轉(zhuǎn)換的可編程邏輯控制器三個部分組成。光纖接口的物理鏈

2、路部分使用光電轉(zhuǎn)換模塊進行光電轉(zhuǎn)換,使用SERDES進行收發(fā)數(shù)據(jù)的串并轉(zhuǎn)換和接收數(shù)據(jù)提取與時鐘恢復(fù)。PCI總線使用專用的接口芯片,將復(fù)雜的、難以處理的PCI總線時序轉(zhuǎn)換成簡單的、易于處理的本地總線時序。FPGA在光纖接口處進行數(shù)據(jù)編碼解碼和傳輸控制,實現(xiàn)光纖傳輸?shù)逆溌穼庸δ?在PCI接口處對PCI專用芯片的本地總線的時序進行解析,同時進行整個系統(tǒng)的時序轉(zhuǎn)換和功能控制,完成整個系統(tǒng)的中斷控制。
　　本文首先對基于PCI總線的光纖數(shù)據(jù)

3、傳輸系統(tǒng)的方案進行確定,然后進行系統(tǒng)的原理分析和硬件電路設(shè)計,接著進行可編程邏輯控制器件的程序開發(fā),之后在Windows操作系統(tǒng)下進 PCI接口的驅(qū)動程序開發(fā),最后對硬件板卡進行調(diào)試,對整個光纖數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)進行測試。
　　測試結(jié)果表明,光纖數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)已經(jīng)實現(xiàn)通過光纖接收運動控制卡的數(shù)據(jù),然后將數(shù)據(jù)通過PCI總線發(fā)送到PC中去,光纖傳輸速度為1.25Gbit/s,24小時沒有誤碼, PCI接口速度滿足運動控制卡的數(shù)據(jù)傳輸要求。目前