基于DMD動(dòng)態(tài)掩膜微立體光刻系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)與研究.pdf

1、三維復(fù)雜結(jié)構(gòu)微器件對(duì)于實(shí)現(xiàn)微機(jī)電系統(tǒng)的功能至關(guān)重要，但是加工三維復(fù)雜微結(jié)構(gòu)對(duì)于傳統(tǒng)的微細(xì)加工技術(shù)是一個(gè)挑戰(zhàn)。面投影微立體光刻技術(shù)通過(guò)光引發(fā)光敏樹(shù)脂固化，逐層制造并多層疊加來(lái)完成結(jié)構(gòu)復(fù)雜、高分辨率、小尺寸的三維結(jié)構(gòu)的制造，被認(rèn)為是目前最有前景的微細(xì)加工技術(shù)之一。
　　 本文介紹了一套自行開(kāi)發(fā)的動(dòng)態(tài)掩膜面投影微立體光刻系統(tǒng)，系統(tǒng)中采用數(shù)字微反射鏡(digital micro-mirror device，DMD)作為動(dòng)態(tài)掩膜發(fā)生器，利

2、用LED陣列作為光源，光源的功率以及波長(zhǎng)可以滿(mǎn)足光固化的要求，設(shè)計(jì)新的樹(shù)脂槽和涂覆系統(tǒng)適用粘度大的復(fù)合納米材料的加工。除了系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與搭建以外，文中介紹了自行開(kāi)發(fā)的基于AutoCAD的CAD模型的直接切片分層程序、基于LabVIEW設(shè)計(jì)的生成加工文件程序以及系統(tǒng)控制程序。
　　 文中分析得到微立體光刻系統(tǒng)加工分辨率由光學(xué)系統(tǒng)的分辨率以及光敏樹(shù)脂的特性共同決定，通過(guò)測(cè)量微立體光刻系統(tǒng)中光學(xué)系統(tǒng)的分辨率以及光敏樹(shù)脂與二二氧化硅納米顆