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1、該文研究一種制作任意三維連續(xù)微結(jié)構(gòu)的實時掩膜光刻技術(shù).結(jié)合投影光刻系統(tǒng)的并行性和可編程數(shù)字化液晶顯示器件的靈活性提出并建立了液晶顯示實時掩膜光刻系統(tǒng);提出了基于等高面和基于灰度量化的兩種實時掩膜產(chǎn)生方法,編制了相應(yīng)的計算軟件;根據(jù)實時掩膜的特點,提出從三個方面對掩膜進行精細校正的方法,包括圖形邊緣灰度處理對掩膜圖形的邊緣優(yōu)化,預(yù)畸變掩膜圖形對空間像傳遞的非線性校正,調(diào)節(jié)每幅圖形的曝光時間對曝光,顯影和刻蝕的非線性校正,并且討論了象素柵格
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