適用于有機半導體薄膜器件制備的原位實時測量技術研究.pdf

1、近年來，有機半導體的研究和應用得到了飛速的發(fā)展，形成了跨物理學、化學、電子學和材料學等多學科的研究領域，在光電子、微電子、太陽電池、通信等各方面引起了廣泛地關注。據(jù)研究表明，有機薄膜的結構、厚度及膜層之間相互作用等是影響器件性能的重要因素。因此，本文基于有機場效應管法和差分反射光譜理論提出了在線光電測試的基本方法，搭建了原位實時光電測試系統(tǒng)，實現(xiàn)有機薄膜在生長過程中的原位實時監(jiān)測，進而研究有機薄膜的光譜信息、電學特性與薄膜結構之間的互相

2、對應關系。既有助于對導電層形成過程的理解，也有助于原位監(jiān)測有機器件的制備過程。本文的主要工作內(nèi)容如下:
　　1、針對原位實時監(jiān)測有機半導體薄膜生長情況的需求，提出了差分反射光譜法與場效應晶體管法結合的在線光電測量方法，設計搭建了原位實時光電測試系統(tǒng)。設計了LabView軟件控制程序，實現(xiàn)了在薄膜生長過程中對其光電信號的原位實時測量、采集和存儲。
　　2、以底柵底接觸式為基礎，設計新的梳齒狀樣品結構及電學夾持裝置。以五苯分子為

3、有源層材料，采用分子束外延方法真空蒸鍍有機薄膜場效應管。
　　3、優(yōu)化在線電學測試系統(tǒng)，并對系統(tǒng)進行性能測試，測量偏差的相對百分比在±0.3％之內(nèi)，滿足實驗要求。驗證了真空環(huán)境下在線電學測試的可行性，實現(xiàn)了有機薄膜場效應管的在線電學測試，并分別測量不同溝道長寬比和不同厚度半導體層的有機場效應管的電學特性，對比分析器件的性能差異。
　　4、分析了薄膜在生長全過程中的DRS譜圖，可發(fā)現(xiàn)并五苯以薄膜態(tài)的結構進行生長，所得實驗數(shù)據(jù)與