汞探針CV測(cè)試儀測(cè)量硅重?fù)揭r底外延層電阻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性.pdf

1、本論文針對(duì)公司使用汞探針CV495測(cè)試儀測(cè)量重?fù)揭r底硅外延層電阻率時(shí),發(fā)現(xiàn)所得結(jié)果有不穩(wěn)定情況,從而導(dǎo)致大批產(chǎn)品報(bào)廢的問題進(jìn)行研究。首先,分析了影響測(cè)試結(jié)果穩(wěn)定性、重復(fù)性的各種因素;在此基礎(chǔ)上制訂了試驗(yàn)方案;通過大量試驗(yàn),發(fā)現(xiàn):
　　1.汞金屬的更換,會(huì)使測(cè)試電阻率的結(jié)果在大約1天的時(shí)間之內(nèi)表現(xiàn)出波動(dòng),之后逐步趨于穩(wěn)定。
　　2.校準(zhǔn)片在經(jīng)過重新表面處理之后,其電阻率值會(huì)在大約1天的時(shí)間之內(nèi)經(jīng)歷由低到高的一個(gè)變化過程,之后會(huì)

2、逐步趨于穩(wěn)定。
　　3.在經(jīng)過Cr03溶液表面處理的時(shí)間上,如果時(shí)間太短比如10分鐘以下,會(huì)在一定程度上造成校準(zhǔn)片及測(cè)試片產(chǎn)生漏電,從而影響到測(cè)試曲線的水平以及測(cè)試電阻率值的正確性。
　　針對(duì)以上3點(diǎn),經(jīng)過研究,在原有的汞探針CV監(jiān)控方法基礎(chǔ)上,建立起更加完善的使用汞探針CV測(cè)試儀測(cè)試重?fù)揭r底硅外延片的監(jiān)控方法:
　　1.確立1片或多片己知外延電阻率的校準(zhǔn)片,以作有效汞-硅接觸面積(后簡(jiǎn)稱汞點(diǎn)面積)校準(zhǔn)時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)。并且定

3、期測(cè)試校準(zhǔn)片的電阻率值,以監(jiān)控CV測(cè)試儀的穩(wěn)定性。當(dāng)校準(zhǔn)片電阻率值超出規(guī)定范圍時(shí),在確認(rèn)其它干擾因素均沒有對(duì)其產(chǎn)生影響的情況下,應(yīng)修正有效汞點(diǎn)面積。
　　2.定期更換汞金屬(現(xiàn)在定為每月一換),須待更換后半天以上才能開始用校準(zhǔn)片校準(zhǔn)有效汞點(diǎn)面積。
　　3.定期對(duì)校準(zhǔn)片進(jìn)行重新表面處理(現(xiàn)在定為每月一次),校準(zhǔn)片電阻率測(cè)試值會(huì)在半天以上時(shí)間之后恢復(fù)至原標(biāo)稱值。在此電阻率恢復(fù)的半天時(shí)間之內(nèi)進(jìn)行的有效汞點(diǎn)面積的校準(zhǔn)值不可取。