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1、太原理工大學(xué)碩士學(xué)位論文三柵極P(Plume)極驗(yàn)證性實(shí)驗(yàn)及特征研究姓名:王彥雯申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):@指導(dǎo)教師:@@太原理工大學(xué)碩士研究生學(xué)位論文II根據(jù)P極驗(yàn)證性實(shí)驗(yàn)的觀察記錄和實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析,借助igin軟件的相關(guān)數(shù)據(jù)處理功能,對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析。分析結(jié)果表明,在一定的實(shí)驗(yàn)工藝條件下,P極出現(xiàn)等離子Plume現(xiàn)象,而這種現(xiàn)象伴隨著較穩(wěn)定的參數(shù)平臺(tái)。由此,總結(jié)和給出了滲鍍最佳匹配工藝參數(shù)。本文研究?jī)?nèi)容表明,三柵極離子滲鍍系統(tǒng)是能夠在
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