基于共面?zhèn)鬏斁€法的高溫超導薄膜表面電阻的測試研究.pdf

1、高溫超導薄膜由于其較低的表面電阻和功率損耗而得到越來越廣泛的應用。特別是隨著高溫超導薄膜制備技術的不斷提高，使得其在通信電子領域中的應用前景越來越被看好。然而，在微波場中高溫超導薄膜表現(xiàn)出的非線性特性大大限制了用高溫超導薄膜制造的微波器件的應用。微波表面電阻是非線性研究的一個重要組成部分，對它研究有助于了解非線性產生的原因和其微觀本質。因此，高溫超導薄膜的微波表面電阻測試研究就顯得尤為重要。目前，世界上很多國家都在進行這方面的研究。

2、r>　　 本文詳細介紹了用共面?zhèn)鬏斁€法測量高溫超導薄膜表面電阻的原理，建立了測試腔的模型，并對該模型進行仿真和分析。在此過程中對其傳輸系數(shù)S21曲線圖進行了對比及優(yōu)化，得到了比較理想的諧振器尺寸和具體的耦合探針位置，并根據(jù)該優(yōu)化結果設計和制作了共面諧振器測試腔。
　　 本測量方法從開始研究至今，經歷多次反復的仿真實驗，解決了這種方法的耦合困難的問題，成功使諧振器產生了諧振效果，并把諧振器的諧振頻率降低到了4.5GHz。共面諧振