微加速度計的機電耦合特性及關鍵技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、西南交通大學博士學位論文微加速度計的機電耦合特性及關鍵技術研究姓名：周吳申請學位級別：博士專業(yè)：機械設計及理論指導教師：李柏林；蘇偉20100713第1I頁西南交通大學博士研究生學位論文機靈敏度與設計值十分接近，整個結構僅經(jīng)歷兩次制版與加工就達到了預期設計指標。這不僅說明理論結果的正確性，還說明了理論設計的有效性，降低了性能參數(shù)的工藝依賴性，提高了結構設計效率。5運用微工藝的深反應離子刻蝕技術(DRIE，DeepReactionIonE

2、tching)與硅微鍵合技術制造出了加速度計的表芯結構，并通過原理樣機的離心機測試驗證了理論的正確性與有效性。本論文運用宏模型原理分析MEMS平行板電容器的機電耦合特性，簡化了復雜系統(tǒng)的分析過程，使理論推導過程更明確更直觀。提出了運用機械場與靜電場的耦合效應來開辟MEMS設計分析新方法，包括基于電路參數(shù)補償?shù)聂敯粜栽O計方法、基于系統(tǒng)測試的工藝誤差預測方法以及基于靜電剛度的微諧振器研制等。關鍵詞：微加速度計；機電耦合；宏模型；折疊梁；工藝

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