平板顯示器表面缺陷自動檢測系統(tǒng)中的自動聚焦與缺陷分類的研究與實現(xiàn).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、平板顯示器(FPD(Flat Panel Display))由于具有高分辨率、高亮度、功耗低、體積小和重量輕等優(yōu)點,廣泛應(yīng)用于顯示器領(lǐng)域。在FPD顯示器的生產(chǎn)過程中,為了保證顯示質(zhì)量和提高平板顯示器產(chǎn)量,顯示器的缺陷檢測是必不可少的。為了降低成本提高生產(chǎn)效率,平板顯示器的制造過程迫切需要一個全自動缺陷檢測系統(tǒng)。FPD模組制造過程的面板點燈檢測除基礎(chǔ)的光電響應(yīng)量測外,還包括壽命及畫質(zhì)缺陷檢測,如點、線、mura、異物等缺陷。然而由于目前檢

2、測系統(tǒng)中的工業(yè)相機一般不具有自動調(diào)焦功能,且檢測mura缺陷效果較好的周期算法需要使相機鏡頭調(diào)節(jié)到所拍攝的FPD圖像具有指定的紋理周期。由于FPD制造過程極其復(fù)雜,需近百道工序,因此在生產(chǎn)制造過程中難免會出現(xiàn)缺陷,各生產(chǎn)廠商也要求能快速對這些缺陷進行分類、分等。
   本研究針對以上問題主要做了以下工作:⑴分別測試了空域、頻域圖像清晰度算法,并設(shè)計了聚焦流程以實現(xiàn)FPD成像系統(tǒng)的自動對焦。⑵利用傅里葉變換求出FPD圖像的紋理周期

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