太陽能電池氮化硅薄膜制備與鈍化研究.pdf

1、太陽能電池能將太陽光能轉(zhuǎn)換為電能，制作流程主要包括制絨、PN結(jié)擴(kuò)散、等離子刻蝕、PSG清洗、PECVD鍍膜、絲網(wǎng)印刷電極和燒結(jié)等步驟，其中PECVD鍍膜步驟擔(dān)負(fù)著光學(xué)減反和電學(xué)鈍化的任務(wù)，對(duì)太陽能電池的電性能起著至關(guān)重要的作用。
　　本論文主要針對(duì)PECVD鍍氮化硅薄膜及其相關(guān)鈍化技術(shù)進(jìn)行研究，主要內(nèi)容為：
　　首先研究了常規(guī)氮化硅鍍膜工藝中，鍍膜溫度、鍍膜壓力、鍍膜功率和硅烷氨氣流量比對(duì)氮化硅膜的折射率以及鍍膜后硅片少子壽

2、命的影響，這些工藝參數(shù)的研究，為后續(xù)的鍍膜和鈍化新技術(shù)的研究奠定了基礎(chǔ)；
　　然后研究了一種以等離子態(tài)的氨氣為氣氛的氫鈍化技術(shù)，對(duì)鍍膜前鈍化、鍍膜后和其它鈍化參數(shù)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)對(duì)比，提升了硅片的少子壽命和短路電流等參數(shù)，并提升電池轉(zhuǎn)換效率0.16％；
　　最后進(jìn)行了疊層鍍膜工藝的研究，先研究了雙層氮化硅薄膜技術(shù)，降低電池反射率同時(shí)使得鈍化效果也一定提升，效率提升0.13%，然后進(jìn)行了三層膜技術(shù)研究，相比雙層膜鈍化效果類似，但取得了