雙工件臺系統(tǒng)的運動和測量系統(tǒng)解耦算法研究.pdf

1、光刻機作為大規(guī)模集成電路制造的重要生產(chǎn)工具,日益成為衡量一個國家高新技術(shù)發(fā)展的重要指標(biāo)。而作為光刻機重要部件之一的工件臺和掩模臺系統(tǒng),其發(fā)展與研發(fā)則成為光刻機生產(chǎn)的核心?？梢哉f,工件臺和掩模臺的技術(shù)水平直接影響著光刻機設(shè)備產(chǎn)能。
　　工件臺與掩模臺的高速度和高精度要求成為控制的難點。對于工件臺和掩模臺的微動臺來說,他們各由六個音圈電機控制。六個電機相互配合實現(xiàn)六個自由度運動。為了實現(xiàn)工件臺和掩模臺六個自由度的高精度控制,需要對六個

2、電機進(jìn)行精確解耦,并對安裝誤差進(jìn)行分析。
　　本文首先對工件臺和掩模臺工作原理進(jìn)行了簡單介紹。然后對工件臺和掩模臺的微動臺進(jìn)行建模。通過對微動臺臺體上六個電機施力和對臺體產(chǎn)生力矩的分析,解算出微動臺六個自由度對應(yīng)的合力和合力矩與六個音圈電機的關(guān)系。為了實現(xiàn)對臺體六個自由度精確控制,利用數(shù)學(xué)軟件對轉(zhuǎn)換矩陣進(jìn)行求逆處理。編寫了VC++可視化程序,方便求解在誤差影響下,電機施力變化。
　　電機安裝及臺體加工時易產(chǎn)生誤差,而誤差會引