引線鍵合超聲換能系統(tǒng)設計研究.pdf

1、　　本文以提高引線鍵合設備的性能、封裝質量和超聲波能量的利用效率作為研究目標，針對芯片封裝技術領域引線鍵合用高頻超聲換能器的設計方法以及驅動電源的設計做了較詳盡的研究。全文工作和取得的成果如下：
　　基于一維平面波動理論，運用機電等效原理建立起換能器和聚能器系統(tǒng)的數(shù)學解析模型，推導出其縱向振動頻率方程，建立了壓電換能器系統(tǒng)的機電等效電路，設計高頻超聲換能器的初始拓撲模型，借助有限元分析軟件對換能器整體作諧振特性分析，通過參數(shù)化建

2、模方法進行優(yōu)化設計，最終建立了壓電換能器的最優(yōu)模型。
　　基于CPLD技術，對引線鍵合超聲換能系統(tǒng)驅動電源進行了軟硬件設計，驅動電源具有頻率跟蹤、功率放大和阻抗匹配等功能。
　　搭建了實驗系統(tǒng)，借助阻抗分析儀對所設計的壓電換能器進行阻抗特性測試，結果表明，實驗與有限元分析有良好的一致性。并進行了引線鍵合超聲換能系統(tǒng)振動傳遞特性試驗，驗證了引線鍵合超聲換能系統(tǒng)設計的有效性。
　　本文的研究工作為引線鍵合設備的進一步