引線鍵合超聲換能系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究.pdf

1、　　本文以提高引線鍵合設(shè)備的性能、封裝質(zhì)量和超聲波能量的利用效率作為研究目標(biāo)，針對(duì)芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域引線鍵合用高頻超聲換能器的設(shè)計(jì)方法以及驅(qū)動(dòng)電源的設(shè)計(jì)做了較詳盡的研究。全文工作和取得的成果如下：
　　基于一維平面波動(dòng)理論，運(yùn)用機(jī)電等效原理建立起換能器和聚能器系統(tǒng)的數(shù)學(xué)解析模型，推導(dǎo)出其縱向振動(dòng)頻率方程，建立了壓電換能器系統(tǒng)的機(jī)電等效電路，設(shè)計(jì)高頻超聲換能器的初始拓?fù)淠Ｐ?，借助有限元分析軟件?duì)換能器整體作諧振特性分析，通過(guò)參數(shù)化建

2、模方法進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，最終建立了壓電換能器的最優(yōu)模型。
　　基于CPLD技術(shù)，對(duì)引線鍵合超聲換能系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)電源進(jìn)行了軟硬件設(shè)計(jì)，驅(qū)動(dòng)電源具有頻率跟蹤、功率放大和阻抗匹配等功能。
　　搭建了實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，借助阻抗分析儀對(duì)所設(shè)計(jì)的壓電換能器進(jìn)行阻抗特性測(cè)試，結(jié)果表明，實(shí)驗(yàn)與有限元分析有良好的一致性。并進(jìn)行了引線鍵合超聲換能系統(tǒng)振動(dòng)傳遞特性試驗(yàn)，驗(yàn)證了引線鍵合超聲換能系統(tǒng)設(shè)計(jì)的有效性。
　　本文的研究工作為引線鍵合設(shè)備的進(jìn)一步