電導(dǎo)型復(fù)合金屬氧化物CO-,2-氣敏薄膜材料的研究.pdf

1、"溫室效應(yīng)"、室內(nèi)環(huán)境及植物光合作用等要求人們對(duì)CO<,2>氣體濃度進(jìn)行監(jiān)測(cè)與控制.本文以CuO-SrTiO<,3>和CuO-BaTiO<,3>復(fù)合金屬氧化物電阻型薄膜材料為研究對(duì)象,采用溶膠-凝膠工藝,對(duì)薄膜制備過(guò)程,CO<,2>氣體敏感特性及敏感機(jī)理進(jìn)行了研究.采用無(wú)機(jī)鹽為主要原料,以檸檬酸為絡(luò)合劑、乙二醇為膠聯(lián)劑制備出均一、穩(wěn)定的CuO-SrTiO<,3>和CuO-BaTiO<,3>薄膜前驅(qū)體溶膠.通過(guò)采用紅外光譜、X衍射及掃描電

2、鏡等分析手段,對(duì)溶膠及制備的薄膜進(jìn)行了研究,發(fā)現(xiàn)檸檬酸主要起絡(luò)合金屬離子的作用,乙二醇起膠聯(lián)作用.實(shí)驗(yàn)證明,溶膠的濃度對(duì)溶膠及薄膜質(zhì)量有很大影響,當(dāng)溶膠濃度為0.1mol/L,可形成表面形貌好的薄膜.對(duì)溶膠-凝膠法制備CuO-SrTiO<,3>的制備工藝進(jìn)行了深入研究.實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),預(yù)燒和煅燒、成膜次數(shù)對(duì)CuO-SrTiO<,3>薄膜形成有較大影響.該文對(duì)CuO-SrTiO<,3>薄膜材料的CO<,2>氣體敏感特性進(jìn)行了系統(tǒng)研究,發(fā)現(xiàn)CuO