MEMS電容加速度傳感器讀出電路中的低通濾波器的研究設(shè)計(jì).pdf

1、MEMS傳感器是當(dāng)前的研究熱點(diǎn)，低通濾波器是其讀出電路信號(hào)處理過(guò)程中必不可少的重要部分。研究開(kāi)發(fā)易于集成、性能優(yōu)良，并應(yīng)用于MEMS傳感器讀出電路的低通濾波器具有重要的實(shí)際意義。 本文研究設(shè)計(jì)了適于MEMS電容加速度傳感器讀出電路的低通濾波器。為適應(yīng)不同MEMS電容加速度傳感器的需要，低通濾波器設(shè)計(jì)成帶寬可調(diào)，范圍為100～10kHz。當(dāng)信號(hào)頻率低于500Hz時(shí)，采用帶寬可調(diào)的開(kāi)關(guān)電容低通濾波器，高于500Hz時(shí)，采用帶寬可調(diào)的

2、連續(xù)時(shí)間低通濾波器。 本文利用開(kāi)關(guān)電容模擬電阻替代有源低通濾波器中的電阻，設(shè)計(jì)了雙二階開(kāi)關(guān)電容低通濾波器。設(shè)計(jì)中采用了對(duì)寄生電容不敏感的反相積分器和同相積分器，積分器中的運(yùn)算放大器選擇具有較高直流開(kāi)環(huán)增益和較大單位增益帶寬的CMOS兩級(jí)運(yùn)放。文中對(duì)開(kāi)關(guān)電容電路存在MOS開(kāi)關(guān)的導(dǎo)通電阻、電荷注入和時(shí)鐘饋通等非理想因素做了詳細(xì)分析，用兩相不重疊、同相下降沿異步的優(yōu)化時(shí)鐘控制開(kāi)關(guān)的時(shí)序，減小電荷注入和時(shí)鐘饋通的影響。對(duì)于連續(xù)時(shí)間濾波器