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文檔簡介
1、多弧離子鍍是物理氣相沉積的方法之一,主要用于在金屬表面制備高硬度、高耐磨性能的各種化合物涂層或者高熔點(diǎn)金屬涂層。由于這種方法對環(huán)境污染很小,所以從開發(fā)以來受到世界各國的高度重視,并迅速得到發(fā)展,目前為止在鍍膜技術(shù)領(lǐng)域占據(jù)了重要的位置。
AlCrN涂層作為一種高性能涂層,其具有高硬度、高的抗氧化性能、低摩擦系數(shù)等等,許多性能都優(yōu)越于CrN和TiAlN等涂層,所以在刀具上得到了廣泛的應(yīng)用。為了拓展AlCrN涂層有更廣泛的應(yīng)用,
2、本試驗(yàn)采用多弧離子鍍技術(shù)在鑄鐵活塞環(huán)表面上制備耐高溫耐磨的AlCrN涂層,并對其性能進(jìn)行了測試與研究。
本實(shí)驗(yàn)是研究控制基體脈沖偏壓、鋁靶電流、沉積時(shí)間來改變涂層中的Al含量,通過研究涂層中Al含量的變化對涂層性能造成的影響,其主要研究了涂層的表面形貌、力學(xué)性能(顯微硬度、膜基結(jié)合強(qiáng)度)、微觀結(jié)構(gòu)(相組成、生長取向、涂層的致密性等)以及Al含量對涂層的摩擦因數(shù)的影響。
試驗(yàn)結(jié)果表明:基體偏壓分別在-100V、
3、-200V、-400V和-600V下制備的AlCrN涂層,通過金相顯微鏡的分析得出,在-100V下制備的涂層的表面形貌平整,且組織致密,但是隨著偏壓的增大,涂層的表面形貌有所改變,當(dāng)偏壓增大到-600V時(shí)涂層的表面變的凹凸不平,摩擦系數(shù)也會隨之增大,經(jīng)過XRD分析得出涂層由AlN、CrN和Cr2N三相組成,隨著偏壓的增大AlN相的峰值有變低和變寬的趨勢,當(dāng)繼續(xù)增加偏壓時(shí)AlN的生長取向已經(jīng)不明顯,但是Cr2N卻有擇優(yōu)取向生長的趨勢。并且
4、隨著偏壓的升高,涂層的硬度和膜基結(jié)合強(qiáng)度都有所降低。同樣在不同Al靶弧流制備的AlCrN涂層也是由AlN、CrN和Cr2N三相組成,隨著Al靶電流的增大涂層中Al含量有增加的趨勢,且涂層的顯微硬度是隨著Al靶電流的增加先增大后減小,這是因?yàn)楫?dāng)Al靶電流過大時(shí),涂層中含有大量的純Al顆粒,純Al顆粒的存在會降低涂層的硬度,但Al顆粒的存在能降低涂層中的生長應(yīng)力,因此Al含量高時(shí)涂層的結(jié)合強(qiáng)度要高一些。
Al含量對涂層的影響很
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