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1、哈爾濱工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文近場(chǎng)光學(xué)顯微系統(tǒng)設(shè)計(jì)及基于剪切力方法測(cè)控距離的研究姓名:秦靜申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專(zhuān)業(yè):儀器科學(xué)與技術(shù)指導(dǎo)教師:張健20050601AbstractNearfieldOpticsisanewcrossedknowledgeIthasgreatdifferenceincharacteristicwiththegeneralopticsNowadays,scanningnearfieldmicroscope(SNOM)
2、breaksthroughtheresolutiondiffractionlimitoftraditionalopticalmicroscope,evenhasthesameresolutionwiththeSTM(ScanningTunnelMicroscope)andAFM(AtomForceMicroscope),isproposedandcarriedoutforitsstrongpointofinformationtransm
3、issionusingphotonsItreleasestherestrictiontosamples,suchaselectricsamples,vacuumenvironmentandmoredamagetosamplesForthisreason,SNOMwillmakegreatsenseindetectingliveorganism,LSIandSOonSNOMisaintegrativemeasuringinstrument
4、usingtheknowledgeofmechanics,electricsandopticsInthispaperasimpleSNOMisdesignedandsetupSomeexperimentsanddataanalyseshavebeendonetoconfirmthefeasibilityofthemethod:thecontrolofthetip—sampledistanceusingthemethodofshearfo
5、rce,whichispresentedastheresonatedprobeapproachingthesampleTuningfork,asasensortodetectthevibrationofthefiberprobefurthermorecontrolthez—pztgettingclosetotheprobeExperimentsaredonetodeterminetheoptimumpositionrelationshi
6、pbetweenprobeandtuningforkinordertogetcorrespondin91ybigQfactorsInaddition,theprobeisinsertedintotheslitoftuningforkinsteadofsticktothetuningfork,foritismorereplaceableandhasbiggerQWithregardtotherealizationofthehardware
7、,alightsource,opticalfiberprobe,fibercoupler,tuningfork,threedimensionsmotoringstage,PZT’CCD,AD/DAcard,PMTimageprocessingcarandlensandSOonareusedtosetupthissystemIntherealizationofthesoftware,weadopttheserialdatatransfer
8、ringtocommunicatewithalltheinstrumentsInaddition,wecanfinishthewholedetectionprocessinanintegratedsoRwarewhichisdevelopedintheenvironmentofVisualC60DatareadingandanalyzingcanalsobedoneTheexistenceofnearfieldiSconfirmedTh
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