Co-BaTiO-,3-納米復(fù)合薄膜及Fe-Al金屬間化合物薄膜的PLD法制備及其結(jié)構(gòu)研究.pdf

1、四川大學(xué)碩士學(xué)位論文CoBaTiO納米復(fù)合薄膜及FeAl金屬間化合物薄膜的PLD法制備及其結(jié)構(gòu)研究姓名：何英杰申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：原子與分子物理指導(dǎo)教師：程新路20050401陰川夫?qū)W碩l‘學(xué)位論文托的同步轉(zhuǎn)動(dòng)來生長余屬問化合物薄膜，研究不同基底溫度對薄膜表面形貌的影響及其表面特性。同時(shí)借助原子力顯微鏡(AFM)、透射電鏡(TEM)、X射線衍射(XRD)、1描電鏡(SEM)等分析測試手段對薄膜的表面特性及結(jié)構(gòu)特性進(jìn)行，表征分析。Co

2、／BaTiO。納米復(fù)合薄膜的測試結(jié)果表明：薄膜中的co納米顆粒均勻地分稚i存BaTi0，基質(zhì)中，其平均粒徑在9nm左存，呈很好的窄分布；基質(zhì)BaTi0：，勾具有C取向、叫方結(jié)構(gòu)的單晶。在本實(shí)驗(yàn)有限的co含量范圍內(nèi)，Co／BaTi0。薄膜依然有很好的結(jié)晶性和高度取向性，并且薄膜的表面都比較均勻、致密、具有原子尺度的光滑性。FeAl會(huì)屬f1；I』化合物薄膜的測試結(jié)果表明：薄膜中Fe鼐fAl幾素分布比較均勻，隨著基底溫度的升高，薄膜的表面逐漸