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文檔簡介
1、在大氣壓下,較低溫度下合成碳納米管對于大規(guī)模的工業(yè)生產(chǎn)具有重要的意義。本文介紹了利用介質(zhì)阻擋放電等離子體增強化學(xué)氣相沉積(DBD-PECVD)的方法并利用該方法合成碳納米管。 實驗中,在0.5個大氣壓下,700℃,通入甲烷和氫氣的混合氣體,產(chǎn)生DBD等離子體。襯底為硅片,催化劑是用磁控濺射制備的Ni/Al薄膜。在掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)下觀察發(fā)現(xiàn),碳納米管的生長符合底端生長方式,并且沒有竹節(jié)狀結(jié)構(gòu)。拉曼
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