硅片傳輸機器人控制系統(tǒng)的研究與開發(fā).pdf

1、集成電路(IC)是電子信息產(chǎn)業(yè)的核心，應(yīng)用于IC的IC制造裝備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的支柱，在整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展中扮演著重要的角色。而硅片傳輸機器人是IC制造裝備中不可缺少的關(guān)鍵設(shè)備，它的速度、重復(fù)定位精度直接或者間接的影響著IC元件的質(zhì)量。硅片傳輸機器人控制系統(tǒng)的研究與開發(fā)，對提高硅片傳輸機器人的性能有很大作用，其控制系統(tǒng)的好壞直接影響到硅片傳輸?shù)木_性以及穩(wěn)定性。 本文首先從硅片傳輸?shù)奶厥庑枨蟪霭l(fā)，闡述了硅片傳輸機器人的總體結(jié)構(gòu)

2、和傳動原理，并在此基礎(chǔ)上，從硅片傳輸機器人控制系統(tǒng)的插補算法、人工示教和PID調(diào)節(jié)等方面闡述了硅片傳輸機器人控制系統(tǒng)的研究基礎(chǔ)，為后續(xù)軟硬件技術(shù)的開發(fā)以及系統(tǒng)的實現(xiàn)奠定了基礎(chǔ)。 其次，結(jié)合硅片傳輸機器人的特點，本文以“通用PC+PMAC”為硬件平臺，開發(fā)了開放式的控制系統(tǒng)。其中以通用PC作為上位機完成控制系統(tǒng)中的非實時任務(wù)，采用開放式運動控制器PMAC作為下位機完成實時的控制任務(wù)。研究了運動控制器、伺服單元以及編碼器的接口技術(shù)，

3、實現(xiàn)了硅片傳輸機器人的控制功能。 在硅片傳輸機器人控制系統(tǒng)軟件開發(fā)中，借鑒了商用控制系統(tǒng)的人機界面風(fēng)格，同時充分地發(fā)揮Windows編程的優(yōu)勢，采用面向?qū)ο蟮某绦蛟O(shè)計語言VisualBasic和模塊化的編程方法，建立了便于用戶操作的友好的人機交互接口界面。實現(xiàn)了伺服驅(qū)動系統(tǒng)的實時控制，狀態(tài)數(shù)據(jù)的采集與顯示、PLC程序的調(diào)用、用戶參數(shù)輸入和人工示教的功能。除此之外，還開發(fā)出了功能完善的輔助程序，從而使用戶能夠更方便的控制硅片傳輸機