晶圓表面形貌的微分干涉系統(tǒng)圖像相位提取及去包裹.pdf

1、表面形貌測量在工業(yè)產(chǎn)品自動檢測、機械制造、電子工業(yè)、機器人視覺等領(lǐng)域有著極大的作用。對晶圓表面形貌測量的在線檢測，成為半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中極其重要的一環(huán)。
　　本文在對表面微觀形貌測試技術(shù)發(fā)展動態(tài)進(jìn)行深入調(diào)研的基礎(chǔ)上，將激光偏振干涉、顯微技術(shù)和相移技術(shù)相結(jié)合，構(gòu)建了晶圓微觀表面形貌測量系統(tǒng)。利用此測量系統(tǒng)，采集圖像得到多幅相移干涉圖，由相位提取算法進(jìn)行相位提取并進(jìn)行表面形貌重構(gòu)，并對圖像表面進(jìn)行相位去包裹處理，最終實現(xiàn)晶圓表面形貌的測

2、量。
　　本文首先研究了微分相移干涉測量系統(tǒng)的基本原理，包括相移干涉原理和移相方法，完成了測量系統(tǒng)總體方案設(shè)計。然后重點介紹了采集圖像處理方法，如何進(jìn)行相位提取算法，以及可能出現(xiàn)的圖像包裹現(xiàn)象和針對這種現(xiàn)象的響應(yīng)處理算法。
　　最后對實驗采集到五幅干涉圖采用線性相移誤差不敏感的五步相位提取算法進(jìn)行處理，得到了樣品表面形貌。然后用相位質(zhì)量圖去包裹算法對得到樣品表面形貌圖像進(jìn)行質(zhì)量分析和相位去包裹處理。
　　相位去包裹算法