已閱讀1頁，還剩54頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、隨著信息時代的到來，人們對短波長發(fā)光器件的需求日益增長，因此人們對寬禁帶直接帶隙半導(dǎo)體的研究產(chǎn)生了極大的興趣。氧化鋅(ZnO)是一種寬禁帶直接帶隙(室溫下3.37eV)Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體材料，室溫下激子束縛能60meV，理論上可實現(xiàn)室溫下的紫外受激輻射，在紫外發(fā)射器件、紫外激光器件等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。 ZnO薄膜的制作方法很多，濺射法、真空蒸鍍、分子束外延、脈沖激光沉積、化學(xué)氣相沉積、原子層外延、噴霧熱分解、溶膠凝膠、鋅
2、膜氧化法等。脈沖激光沉積是近年來發(fā)展起來的先進的薄膜生長技術(shù)，與其他方法相比，脈沖激光沉積法對獲得高質(zhì)量的氧化物薄膜更加有效，因為它具有簡單的結(jié)構(gòu)且操作方便，可以通過調(diào)節(jié)激光能量、激光頻率等來控制薄膜的原子層厚度。脈沖激光沉積ZnO薄膜是在高真空背景下用高能激光燒蝕ZnO靶材生成蒸發(fā)物沉積在加熱襯底上生長晶體薄膜。 本文用脈沖激光沉積方法以ZnO陶瓷為靶材，在Si(111)襯底上生長ZnO薄膜，討論了氧分壓、襯底溫度、脈沖能量、
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 脈沖激光沉積ZnO薄膜及其性質(zhì)研究.pdf
- 脈沖激光沉積制備ZnO薄膜的研究.pdf
- 脈沖激光沉積制備ZnO薄膜及其摻雜研究.pdf
- 脈沖激光沉積制備ZnO薄膜及其光電性質(zhì)研究.pdf
- 脈沖激光沉積制備Cu摻雜ZnO薄膜的研究.pdf
- 脈沖激光沉積法制備ZnO薄膜及其光學(xué)性質(zhì)的研究.pdf
- 脈沖激光沉積法制備CZTS薄膜和ZnO薄膜.pdf
- 脈沖激光沉積制備ZnO薄膜及發(fā)光特性研究.pdf
- 氧化銥薄膜的脈沖激光沉積、結(jié)構(gòu)控制及其性能研究.pdf
- 脈沖激光沉積法制備SmCo薄膜及其性能研究.pdf
- 脈沖激光沉積氮化硅薄膜的工藝研究.pdf
- 脈沖激光制備ZnO薄膜機理的研究.pdf
- 脈沖激光沉積GaN薄膜及ZnO緩沖層的影響.pdf
- 脈沖激光沉積GaN薄膜研究.pdf
- 脈沖激光沉積法制備高質(zhì)量ZnO薄膜及其緩沖層的研究.pdf
- 脈沖激光沉積制備ZnO薄膜及其結(jié)構(gòu)和發(fā)光特性分析.pdf
- 脈沖激光沉積法生長摻雜ZnO基薄膜及其相關(guān)器件研究.pdf
- PLD（脈沖激光沉積法）制備ZnO基稀磁半導(dǎo)體薄膜及其性能研究.pdf
- ZnS熒光薄膜的脈沖激光沉積及其特性研究.pdf
- 脈沖激光沉積硅基發(fā)光薄膜及其特性研究.pdf
評論
0/150
提交評論