工程陶瓷磨削加工表面測(cè)量及評(píng)定.pdf

1、表面形貌測(cè)量及評(píng)定技術(shù)，是發(fā)展機(jī)械科學(xué)、表面科學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)以及微電子技術(shù)所必須的重要技術(shù)。本文在對(duì)國(guó)內(nèi)外關(guān)于表面形貌測(cè)量及特征評(píng)定研究現(xiàn)狀與發(fā)展進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上，論述了作者對(duì)表面形貌特征評(píng)定理論與方法的研究成果。主要研究?jī)?nèi)容與成果如下： 建立一個(gè)表面測(cè)量分析系統(tǒng)，不僅能夠?qū)ぜ砻娴牟蓸有盘?hào)進(jìn)行傳統(tǒng)的二維參數(shù)計(jì)算，還能進(jìn)行三維參數(shù)的計(jì)算，再結(jié)合我們對(duì)表面采樣信號(hào)所進(jìn)行的其它分析，如頻譜，小波分析，分形，圖像表征等，能夠

2、較完整地描述分析加工表面的形貌。 探討了表面測(cè)量及評(píng)價(jià)中常用到的時(shí)頻域分析方法，以及先進(jìn)的小波和分形方法，通過(guò)小波的分解和重構(gòu)成功將原始輪廓信號(hào)中的形狀誤差，波紋度和粗糙度進(jìn)行分離，并將分形理論與表面測(cè)量評(píng)定相結(jié)合，提出分形維數(shù)D是一個(gè)綜合反映表面復(fù)雜程度的參數(shù)，是評(píng)價(jià)表面特性的又一重要指標(biāo)。 利用TR200粗糙度儀對(duì)金屬及陶瓷磨削加工表面進(jìn)行測(cè)量，利用自行設(shè)計(jì)的表面測(cè)量分析與處理系統(tǒng)，在磨削表面測(cè)量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，初步研