高直流電導(dǎo)鉭-鈮酸鋰晶片制備技術(shù)研究.pdf

1、鈮酸鋰晶體(LiNbO<,3>)是一種優(yōu)良的人工晶體，具有很多重要的性質(zhì)，如非線性效應(yīng)、電光效應(yīng)、壓電效應(yīng)、彈光效應(yīng)、熱電效應(yīng)、光折變效應(yīng)等等；鉭酸鋰晶體(LiTaO<,3>)也是一種優(yōu)良人工晶體，具有很多同鈮酸鋰晶體相似的性質(zhì)，如非線性效應(yīng)、電光效應(yīng)、壓電效應(yīng)、彈光效應(yīng)、熱電效應(yīng)、光折變效應(yīng)等等，因此，它們?cè)诤芏喾矫婢哂袕V泛的應(yīng)用及前景。 鉭/鈮酸鋰晶體作為壓電晶體大量應(yīng)用于聲表面波濾波器。由于鉭/鈮酸鋰晶體同時(shí)具有熱釋電效應(yīng)

2、，在器件制作的過程中由于熱釋電效應(yīng)使得晶片表面帶有大量的靜電荷，靜電荷積累到一定程度會(huì)產(chǎn)生放電，容易導(dǎo)致晶片開裂、微電疇反轉(zhuǎn)、電極損壞等。 我們?cè)谡婵?、惰性氣體、水蒸氣等氣氛下對(duì)鉭/鈮酸鋰晶片進(jìn)行熱處理(還原處理)，制備了不同氣氛下、不同溫度下的鉭/鈮酸鋰晶片。通過晶片還原前后表現(xiàn)出的顏色變化及對(duì)電導(dǎo)率的測(cè)量，我們判定并且選擇了真空氛圍作為晶片理想的還原氣氛。 我們測(cè)量了還原所得的鉭/鈮酸鋰晶片電導(dǎo)率。測(cè)得還原后鈮酸鋰晶

3、片的最高電導(dǎo)率為1．839×10<'-9>( cm)<'-1>，比鈮酸鋰原片提高5個(gè)量級(jí)以上。 通過對(duì)還原所得的鉭/鈮酸鋰晶片的紫外一可見吸收譜測(cè)量，發(fā)現(xiàn)在波長(zhǎng)500nm有一個(gè)顯著的吸收帶，并且在整個(gè)紫外-可見波段吸收系數(shù)隨著還原程度的提高而增加。 通過對(duì)還原過的鈮酸鋰晶片進(jìn)行再氧化處理，發(fā)現(xiàn)再氧化過的鈮酸鋰晶片又回到了無色透明。晶片的差熱分析譜表明還原過的鈮酸鋰晶片經(jīng)過再氧化處理后，所得晶片的差熱譜與鈮酸鋰原片完全一致