2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、隨著集成電路產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，集成電路的性能、規(guī)模、復(fù)雜性都有了很大的提高，集成電路設(shè)計(jì)方法和制造也面臨著許多挑戰(zhàn)。特別是射頻(RF)電路，目前已經(jīng)把無(wú)源器件集成在RF芯片中，像MIM電容和電感，但是這些無(wú)源器件占用的面積很大，而且Q容易隨著頻率變化，Q代表著能量的使用效率，對(duì)電路的性能有很大影響。這些無(wú)源器件的性能基本上決定了RF電路的性能。因此如何提高無(wú)源器件在高頻下的性能，以及如何減少無(wú)源器件占用的面積，已經(jīng)成為一個(gè)熱門(mén)的課題。

2、 提高無(wú)源器件的性能和減少占用面積，可以從兩方面同時(shí)著手。一個(gè)方面是從器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；另一方面是從器件制造工藝。本文主要從制造工藝方面，詳細(xì)介紹如何提高無(wú)源器件的性能和減少占用面積。 目前RF電路無(wú)源器件主要包括MIM電容和電感。在一般的使用頻率下，MIM電容的Q基本上可以達(dá)到50多，而電感只有20多。所以相對(duì)而言，MIM電容的主要問(wèn)題在于如何減小占用面積，而電感的主要問(wèn)題在于如何提高Q。 本文就是通過(guò)減少M(fèi)IM電容介

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