應用于射頻集成電路的新型交變結(jié)構(gòu)平面螺旋電感研究.pdf

1、近年來，平面螺旋電感越來越多的被人們用于射頻集成電路的設計中。隨著集成電路工藝的發(fā)展，CMOS工藝以其低成本、易集成、低功耗等特點，成為集成電路的主流工藝。如何在硅基上實現(xiàn)高品質(zhì)因素Q和高電感值L平面螺旋電感，成為目前射頻集成電路研究的熱點和難點。本文在大量文獻閱讀的基礎上，著眼于當今平面螺旋電感對于結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化存在高Q值和高L值很難同時獲得的缺陷，提出一種全新的線寬間距交變型平面螺旋電感模型。
　　 本文首先介紹了平面螺旋電感

2、的相關理論常識，分析了螺旋電感的損耗機制，為之后電感的優(yōu)化設計打下堅實的理論基礎；其次，本文從結(jié)構(gòu)參數(shù)和工藝參數(shù)兩個方面入手，對影響平面螺旋電感性能的因素進行了仿真，并提出電感的優(yōu)化設計準則；然后本文從電感結(jié)構(gòu)參數(shù)著手，結(jié)合電感損耗機理，自主提出一種新型線寬間距交變結(jié)構(gòu)平面螺旋電感模型，并用HFSS10.0對新提出的電感模型進行了大量的仿真，仿真結(jié)果顯示，本文提出的新型平面螺旋電感Q值較傳統(tǒng)電感提高了11％，L值較傳統(tǒng)電感提高了36％，