測量微球覆層厚度的X射線法.pdf

1、目前主要用金相法、X射線照相法進(jìn)行微球覆層厚度的測量，這兩種方法測量速度慢，而且金相法屬于破壞性方法。為解決此問題，對X射線衍射法、熒光 X射線法測量微球覆層厚度的方法進(jìn)行了研究。
　　首先，通過對衍射現(xiàn)象、熒光X射線產(chǎn)生的原理和微球的幾何模型進(jìn)行分析，建立兩種方法的數(shù)學(xué)模型，并利用計(jì)算及模擬的方法對模型進(jìn)行求解，編制相應(yīng)的計(jì)算軟件。
　　對于X射線衍射法，利用一組已知厚度和X射線衍射線積分強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)試樣，通過計(jì)算機(jī)模擬求解

2、的方法，得到微球衍射線積分強(qiáng)度和覆層厚度的關(guān)系。然后，在相同條件下進(jìn)行待測試樣的X射線衍射實(shí)驗(yàn)，將其衍射線積分強(qiáng)度代入求解模型得到的結(jié)果中就能得到待測試樣的覆層厚度。
　　對于熒光X射線法，在基體和覆層中分別選擇一種元素通過軟件計(jì)算其熒光X射線的強(qiáng)度。由于軟件在計(jì)算過程中考慮了所選擇熒光X射線的激發(fā)因子，因此不需要標(biāo)準(zhǔn)試樣。將實(shí)驗(yàn)所得到的基體、覆層元素的熒光X射線帶入模型計(jì)算出的熒光X射線強(qiáng)度與覆層厚度的關(guān)系中求得待測試樣的覆層厚