測量微球覆層厚度的X射線法.pdf

1、目前主要用金相法、X射線照相法進行微球覆層厚度的測量，這兩種方法測量速度慢，而且金相法屬于破壞性方法。為解決此問題，對X射線衍射法、熒光 X射線法測量微球覆層厚度的方法進行了研究。
　　首先，通過對衍射現(xiàn)象、熒光X射線產生的原理和微球的幾何模型進行分析，建立兩種方法的數學模型，并利用計算及模擬的方法對模型進行求解，編制相應的計算軟件。
　　對于X射線衍射法，利用一組已知厚度和X射線衍射線積分強度的標準試樣，通過計算機模擬求解

2、的方法，得到微球衍射線積分強度和覆層厚度的關系。然后，在相同條件下進行待測試樣的X射線衍射實驗，將其衍射線積分強度代入求解模型得到的結果中就能得到待測試樣的覆層厚度。
　　對于熒光X射線法，在基體和覆層中分別選擇一種元素通過軟件計算其熒光X射線的強度。由于軟件在計算過程中考慮了所選擇熒光X射線的激發(fā)因子，因此不需要標準試樣。將實驗所得到的基體、覆層元素的熒光X射線帶入模型計算出的熒光X射線強度與覆層厚度的關系中求得待測試樣的覆層厚