共軌供油系統(tǒng)單體泵試件表面涂層技術(shù)的研究.pdf

1、共軌供油系統(tǒng)單體泵是發(fā)動機中的一個關鍵部件，發(fā)動機工作過程中，單體泵表面處于高溫、高壓、易磨損狀態(tài)，采用表面涂層的方法解決單體泵表面耐磨損、耐高溫、防腐蝕問題，是提高發(fā)動機使用壽命的關鍵。 本文根據(jù)用戶需求進行了在共軌供油系統(tǒng)單體泵材料試件的表面制備α態(tài)Al<,2>O<,3>硬質(zhì)薄膜技術(shù)的研究。Al<,2>O<,3>薄膜是近幾年來國內(nèi)外研究較為廣泛的一種超硬薄膜材料，由于具有耐高溫(使用溫度可達800℃，甚至達到1000℃)、耐

2、腐蝕、高硬度以及高的機械強度等性質(zhì)，因而使得其具有廣闊的應用領域和市場前景。近年來，隨著機械工業(yè)的快速發(fā)展，對Al<,2>O<,3>膜的耐高溫性能和高硬度性能提出了越來越高的要求，Al<,2>O<,3>膜熱穩(wěn)定性和高硬度成為研究的熱點。本論文采用磁控濺射的方法制備了Al<,2>O<,3>硬質(zhì)薄膜，并采用了一系列的表征手段，研究了Al<,2>O<,3>硬質(zhì)薄膜的熱穩(wěn)定性和硬度。在磁控濺射方法制備Al<,2>O<,3>膜的過程中，不同的制備

3、條件會使得膜的微觀結(jié)構(gòu)性能產(chǎn)生差異。本文研究得到：采用磁控濺射方法制備Al<,2>O<,3>膜時，選取一定的真空度、溫度、蒸發(fā)的電壓、電流以及氬氣與氧氣的比值，就可以制備得到微觀結(jié)構(gòu)性能相對比較好的Al<,2>O<,3>硬質(zhì)薄膜。 研究分析表明：Al<,2>O<,3>膜在煅燒溫度為1000℃以內(nèi)時，物相組成是一致的，分別為β-AlOOH(400℃)、γ-Al<,2>O<,3>(400～1000℃)，當煅燒溫度達到1150℃時，A

4、l<,2>O<,3>膜的物相組成都是α-Al<,2>O<,3>。在500℃～1000℃之間沒有明顯的熱變化，在1150℃以上，純Al<,2>O<,3>膜發(fā)生了相轉(zhuǎn)變 (γ-Al<,2>O<,3>向α-Al<,2>O<,3>的轉(zhuǎn)變)。Al<,2>O<,3>膜是由Al-O網(wǎng)絡構(gòu)成。致使Al<,2>O<,3>膜在高溫中有好的微觀結(jié)構(gòu)性能。α態(tài)Al<,2>O<,3>具有很高的硬度，能夠滿足共軌供油系統(tǒng)單體泵表面耐磨損、耐高溫、防腐蝕問題、提高共