低溫共燒(LTCC)BNT系統(tǒng)陶瓷材料研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、LTCC是近年來興起的一種令人矚目的多學(xué)科交叉的新技術(shù),它為電子系統(tǒng)的元器件以及模塊小型化、輕量化提供了很好的解決途徑,越來越受到國內(nèi)國際上的重視。本論文主要研究了以BNT(BaO-Nd2O3-TiO2)陶瓷系統(tǒng)為基礎(chǔ),分別添加BZB(B2O3-ZnO-Bi2O3)玻璃和3Z2H(3ZnO-2H3BO3)玻璃對系統(tǒng)性能的影響,并從配比和工藝等方面進行調(diào)整,從而得到兩種LTCC介質(zhì)材料。 BNT(BaO-Nd2O3-TiO2)系統(tǒng)

2、陶瓷是一種介電性能優(yōu)良的陶瓷,但是其燒結(jié)溫度較高,無法直接在950℃下與Ag、Cu等低熔點金屬電極材料共燒。首先,我們對BNT陶瓷進行了改進,通過添加Bi2O3,使其燒結(jié)溫度降低,同時增大介電常數(shù)。接下來,添加了低軟化點的玻璃,由于低軟化點的玻璃和高熔點的BNT陶瓷相互作用,使得BNT和玻璃之間良好的潤濕使其燒結(jié)溫度降低,同時通過調(diào)節(jié)工藝等條件,使其介電性能滿足需要。 添加了BZB(B2O3-ZnO-Bi2O3)玻璃之后,經(jīng)過研

3、究發(fā)現(xiàn):預(yù)燒溫度為1160℃,通式為Ba6-3x(Nd0.4Bi0.6)8+2xTi18O54(x=2/3)的BNT陶瓷,在添加40wt%BZB玻璃后,燒結(jié)溫度可降到900℃,在保溫2小時后,其介電性能為:ε≈76.1,tgδ≈4.6×10-3(測試頻率為1MHz),αc≤0±30ppm/℃,絕緣電阻R≥1×1011Ω。 添加了3Z2H(3ZnO-2H3BO3)玻璃之后,經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn):預(yù)燒溫度1100℃,通式為Ba6-3x(Nd

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