基于VxWorks的板級驅動軟件的研究與開發(fā).pdf

1、為了提高我國半導體芯片制造過程中關鍵設備的自主開發(fā)和創(chuàng)新能力，在國家高技術研究發(fā)展計劃重大面上項目——“100nm 步進掃描投影光刻機”的資助下，課題對光刻機的整體結構、光刻原理做了深入研究，重點開發(fā)了照明投影控制系統(tǒng)中的劑量控制板。論文研究了劑量控制板的功能需求、劑量控制談判算法、通訊原理及接口設計，并開發(fā)實現了板級驅動軟件。 首先，論文研究了實現曝光劑量控制的功能需求，設計了照明光學系統(tǒng)與照明投影控制系統(tǒng)的通訊接口，利用劑

2、量控制算法完成對激光劑量的控制，達到了在正確的時間在圓片級分發(fā)正確的激光劑量的目的。并基于高性能、可裁剪的嵌入式實時操作系統(tǒng)設計了劑量控制外部接口程序。 其次，論文開發(fā)了應用于整機系統(tǒng)的基礎軟件組件——通信網絡組件。結合socket 通信原理與光刻機控制系統(tǒng)的具體特點，將socket 應用程序接口封裝成適用于光刻機中點到點通信的統(tǒng)一接口。 再次，論文分析了照明投影控制分系統(tǒng)與其它分系統(tǒng)為一次曝光做好同步準備的談判算法，