高真空磁控濺射鍍膜機溫度控制系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、高真空磁控濺射鍍膜機的溫度控制在鍍膜過程中起著十分重要的作用，溫度控制的好壞直接影響到成膜質(zhì)量。本文研究了專家PID算法的原理和實現(xiàn)方法，并將其應(yīng)用到溫度控制系統(tǒng)中；就常規(guī)PID算法和專家PID算法在溫度控制上的應(yīng)用開展了仿真比較；設(shè)計和實現(xiàn)了基于專家PID算法的高真空磁控濺射鍍膜機溫度控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)主要由專家PID智能溫控儀、晶閘管反并聯(lián)模塊、晶閘管控制電路、熱電偶等組成；討論了溫度控制系統(tǒng)及其各單元的結(jié)構(gòu)、工作原理和特性；溫度控制

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