激光輔助放電sn等離子體13.5nm極紫外輻射研究_第1頁
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1、碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文激光輔助放電Sn等離子體13.5nm極紫外輻射研究RESEARCHOF13.5NMEXTREMEULTRAVIOLETRADIATIONFROMTINPLASMAPRODUCEDBYLASERASSISTEDDISGE李小強(qiáng)李小強(qiáng)哈爾濱工業(yè)大學(xué)哈爾濱工業(yè)大學(xué)2014年6月ClassifiedIndex:TN248.22U.D.C:535.345.1DissertationftheMasterDegreeinEng

2、ineeringRESEARCHOF13.5NMEXTREMEULTRAVIOLETRADIATIONFROMTINPLASMAPRODUCEDBYLASERASSISTEDDISGECidate：LiXiaoqiangSupervis：Prof.ZhaoYongpengAcademicDegreeAppliedf：MasterofEngineeringSpeciality：PhysicalElectronicsAffiliation：

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