22160.gd靶激光等離子體極紫外光源的碎屑和光譜特質(zhì)研究

1、分類號：密級：可公開UDC：編號：Gd靶激光等離子體極紫外光源的碎屑和光譜特質(zhì)研究INVESTIGATIONOFTHEDEBRISSPECTRALBEHAVIOFLASERPRODUCEDGDPLASMAEXTREMEULTRAVIOLETSOURCES學位授予單位及代碼：長春理工大學（10186）學科專業(yè)名稱及代碼：等離子體物理(070204)研究方向：激光等離子體物理申請學位級別：碩士指導教師：孫長凱講師研究生：高健論文起止時間：2

2、013.11—2014.12摘要在半導體制造工藝中，高溫激光等離子體極紫外輻射被認為是下一代光刻技術(shù)最有前景的候選者。錫和釓元素是目前為止極紫外光源中，中心波長分別為13.5nm和6.7nm、2%帶寬內(nèi)轉(zhuǎn)化效率最高的靶材。其發(fā)生的4d4f和4p4d躍遷，即n=4n=4的不可分辨躍遷陣列(UTA)是形成帶內(nèi)輻射的主要機制。其中Sn8到Sn13的離子躍遷及Gd12到Gd25的離子躍遷分別構(gòu)成了錫和釓極紫外輻射光譜的主要成分，它們具有相似的光

3、譜性質(zhì)。對其光譜性質(zhì)的研究是極紫外光源的主要內(nèi)容之一。另外，激光等離子體產(chǎn)生極紫外輻射的同時，會產(chǎn)生一定量的碎屑。碎屑主要由較大微粒、熔融液滴、中性粒子和高能離子組成。產(chǎn)生的碎屑會沉積在光源的光學收集系統(tǒng)表面，對其造成嚴重的損傷和影響，致使反射率降低、壽命減少，影響長期工作的穩(wěn)定性；另一方面，產(chǎn)生的碎屑也會對產(chǎn)生的極紫外光輻射強烈的吸收，限制了光源的轉(zhuǎn)化效率。因此，極紫外光源碎屑的動力學及減緩碎屑方法也是極紫外光源研究中亟待解決的問題之