液體微流噴射靶激光等離子體軟X射線—極紫外光源研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩102頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、激光等離子體(LPP)光源作為一種新型的軟X射線光源，其研究始于二十世紀(jì)七十年代。隨著極紫外投影光刻以及輻射計(jì)量等應(yīng)用領(lǐng)域?qū)庠吹囊蟮牟粩嗵岣?，LPP軟X射線—極紫外光源保持不斷的向前發(fā)展。本論文即是研究一種新型的LPP軟X射線—極紫外光源。 本文首先綜述了LPP軟X射線光源的研究發(fā)展?fàn)顩r和最新進(jìn)展。盡管先后研制了多種類型的LPP軟X射線光源，但是仍然存在不足，說明開展新型的LPP軟X射線光源研究的必要性。 其次，從理

2、論上介紹了激光在等離子體中的傳播特性及激光與等離子體的相互作用。并且依據(jù)非相對論量子力學(xué)理論，利用Cowan程序，計(jì)算了O3+、O4+、O5+、C4+、Cl8+、Cl7+、Cl5+、Cl4+和Cl3+等離子的電偶極輻射躍遷波長和躍遷幾率，為光譜診斷提供依據(jù)。 根據(jù)流體力學(xué)規(guī)律和相關(guān)的研究成果以及真空系統(tǒng)要求，結(jié)合低溫制冷技術(shù)，設(shè)計(jì)加工了液體微流噴射靶。它由噴嘴、閥門、高壓腔和控溫組件等部分構(gòu)成。以液體微流噴射靶和激光器為主體，研

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論