晶圓處理工程用語

1、晶圓處理工程用語晶圓處理工程用語D1基本、共同用語基本、共同用語運載盒必保持晶圓不至受到容器排放瓦斯之污染輸送盒材質(zhì)之鑒定至為重要.目前輸送盒以使用聚丙稀(polypropylene)樹脂及聚碳酸脂(polycarbonate)的樹脂為主.D1014Clustertool組合設(shè)備公具指將不同裝置廠家之設(shè)備或不同制程之結(jié)合或能將半導(dǎo)體裝置制造商獨特之制造模塊，加以裝配之多加工室（multichamber）制造裝置。是以美國半導(dǎo)體制造裝置廠

2、家為中心之團體MESA(ModularEquipmentStardArchitecture)所提倡者。D1015Prepurge是指要使用熱處理爐、反應(yīng)室或瓦斯配管系統(tǒng)之前，將純性瓦斯引進加以凈化之操作。D1016Costofownership是將半導(dǎo)體制造相關(guān)設(shè)備之投資，或?qū)I運之經(jīng)濟性評價基準，以經(jīng)營位皆加以模型化者。將制造裝置之壽命周期成本（lifecyclecost）以裝置價格、生產(chǎn)性、可靠性及成品率等加以考量，而算出每一晶圓良

3、品成本之方法。D1017Magiccoupledfeedthrough磁耦合旋轉(zhuǎn)饋通是指利用N極S極之磁性結(jié)合力，將外旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力傳達到真空氣氛內(nèi)之旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。是一種非接觸旋轉(zhuǎn)，因多半在真空與大氣間隔著一道墻壁之構(gòu)造，其真空密封壽命為無限大，對超高真空性能之維持很有效。D1018Magiclevitationtransfer磁懸浮輸送是指利用磁性反斥力之非接觸性輸送機構(gòu)。是由控制磁懸浮之控制電磁鐵、線性馬達及懸浮體等所構(gòu)成，例如遮光罩或晶圓

4、等之基片搭載在懸浮體上來移動。在真空中使用時，因?qū)俜墙佑|，無振動、無潤滑油及全然不產(chǎn)生灰塵，具有可獲得潔凈真空等大特點。D1019Robotfusinginvacuum真空機械人是指在真空室內(nèi)，為要移送基板單體所使用輸送機構(gòu)之總稱。為防止例如遮光罩，晶圓等基板受到微粒之污染，采用振動部極低之機構(gòu)。就其功能而言，一般具有直進、旋轉(zhuǎn)、上下移動等功能。D1020Throughput生產(chǎn)量，工作數(shù)是單位時間內(nèi)所能處理之遮光罩或晶圓等基板之工作數(shù)